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| ドライ真空ポンプ > ポンプシリーズ > Tシリーズ |
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1,670〜30,000L/min のワイドなラインアップ
CVDプロセスにおける耐デポジション性能の向上を実現しています |
機種名 |
単位 |
T100P-H |
T600-H |
T1000-H |
T1200-H |
T1800-H |
| 用途 |
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軽〜重負荷プロセス |
重負荷プロセス |
| 排気速度 |
m3/h |
100 |
300〜600 |
600〜950 |
600〜1,200 |
950〜1,800 |
| L/min |
1,670 |
5,000〜10,000 |
10,000〜15,800 |
10,000〜20,000 |
15,800〜30,000 |
| 到達圧力 |
Pa |
1.2(注1) /5.3(注2) |
0.13(注1) /0.93(注2) |
| 吸気配管接続口 |
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NW50 |
NW80 |
ISO100ボルトタイプ |
ISO160ボルトタイプ |
| 排気配管接続口 |
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NW25 |
NW40 |
| 消費電力(到達圧力時) |
kW |
1.3 |
1.6 |
1.7 |
| 寸法(L×H×W) |
mm |
590×300×280 |
590×600×300 |
760×625×300 |
| 外観図 |
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| 重量 |
kg |
110 |
220 |
230 |
240 |
| 騒音(到達圧力時) |
dB(A) |
55以下 |
58以下 |
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| 冷却水 |
接続口 |
Inch |
1/4 |
3/8 |
| 流量 |
L/min |
3.0以上 |
| 供給圧力 |
kPaG |
300〜700 |
| 温度 |
℃ |
10〜25 |
| N2パージ |
接続口 |
Inc |
1/4 パイプ継手 |
| 流量 |
slm |
7〜50 |
| 供給圧力 |
kPaG |
300〜700 |
| 筐体排気 |
接続口 |
mm |
φ50 |
| 流量 |
m3/min |
1.9以上 |
2.21以上 |
1.76以上 |
| ダクト静圧 |
PaG |
-208以下 |
-199以下 |
-190以下 |
| 電源 |
電源容量 |
kVA |
4.6 |
9.2 |
| 相/電圧/周波数 |
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3相/208V(注3) /50･60Hz |
| 使用環境 |
雰囲気温度 |
℃ |
15〜30 |
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（注1）N2パージが0slmの場合。（注2）N2パージが35slmの場合。（注3）許容電圧変動±10％
本製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問い合せ下さい。 |
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